气体管道安装规范

5.1 管线规范

5.1.1 一般说明

承包商须提供本气体供应工程完整管线。

管路焊接人员须持有有效期内的焊工证；

电器施工人员须持有有效期内的电工证；

现场施工须配备专业安全监管人员，监管者不得参与实际施工；

5.1.2 供应范围至少须包括但不仅限于下列项目：

1. 所有管线及阀类

2. 所有的管配件、管支撑以及必须之附件

3. 管线标示、开关挂牌

5.1.3 设计要求

1)管线系统设计须考虑人员操作的要求以及安全的规定；

2)腐蚀性气体使用SS316L V+V材质；

3)气体房及FAB内气柜及VMB的GN2 Utility（气动阀、抽真空）气源由业主指定的N2 预留点衔接至各区域的VS（由承揽商提供），VS内须配置手动阀、调压阀及压力表头,再由VS衔接至各个需求设备；

4)双套管须按照标准的双套管工法施做，外管需配置信号线压力表及两个手动隔膜阀。双套管中间抽至负压状态，并将实时压力信号纳入GMS SCADA监控。如负压压力超过设定值，需可在GMS SCADA上显示报警；

5)外套管滑套要求使用成品滑套，不得直接切割；

6)所有设备的Utility须带独立的隔离手动阀；

7)SIH4和H2 BSGS尾气排放管末端须配置氮气管路并安装流量计，持续冲吹管路；

8)在施行安装前与施工期间，所有管线及配件必须保持干净，且应防止任何外来物的污染。安装配管所需之管架，固定管架所需之基础螺栓与螺帽，均由承包商提供并装配；

9)承揽商须负责所有气化及GMS系统公用管架的安装；支架须有预留孔洞，无需现场另行开孔；支架两端须有白色封盖；

10)所有气体管路均须布置在化学管路上方；

11)所有涉及既有系统改造及tie in，均不得影响在线气体供应系统的正常运转。如未经业主同意擅自操作，造成后果由承揽商负全责；

12)所有穿墙段管路须对管路有外套管保护，外套管材质与双套管外管一致； 

13)所有穿墙及穿天花板管路，两侧都需防火封堵。

14)管外径（双套管视外管）大于5/8” 的管道弯头应采用成品弯头；管外径小于等于5/8” 的弯头可在现场使用专用弯管器煨制，管道弯头弯曲半径不小于管外径的3 倍。

5.2 配管加工

5.2.1 总则

1. 配管加工场必须分为洁净作业场及一般作业场，而其材料放置场等也应以同样方式区别。

2.为了保持配管加工场环境的清洁，承包商须指定负责人员管理场内的整理、收拾、清扫及火源。

3.配管作业时，如遇需要有特殊资格人员的工程，必须让有资格者执行。

4.配管材料须按照其品质区分，出库时须由负责人取出最低需要材料量。

5. 配管材料的包装只可于使用之前开封。

6. 配管材料即使有包装时也不可直接放置于地面。

7. 需要于现场临时置放配管材料时须事先取得业主的同意，明确记上保管期间、保管负责人姓名及其联络方式。

8  配管材料中与气体接触部分的盖子及其它保护装置，在洁净室内也不得擅自取开。

9. 配管材料与气体接触部分等，不可以污秽的手套或手直接触摸。

10.配管材料与气体接触部分不可用洁净的手套触摸。若于不得以的情况下接触，须以洁净的IPA洗净。

11.配管施工时，使用火源前须取得业主的同意。工程现场须常设灭火设备。

12.现场施工时应尽可能采用预制，以减少现场作业。

13.双套管之施工法须采双套管Elbow及Tee，即外套管之焊道，须等内管全线完工，通过保压及氦气测漏后，方可进行焊接；双套管之密封方式须采用抽真空法，若发生泄漏时，真空遭到破坏，此信息须可由真空表传至气体控制室以警示操作人员。

5.2.2 切割

1. 切割应于洁净棚内执行．

2. 切割前应确认配管表面无有害痕迹、破损。

3. 配管切割时须使用不锈钢专用切割器缓慢进行切割，管径大于25A时，须保持切面直度(90°±0.5)。

4. 切割时应横放水平固定，以防止切屑进入管内。

5. 配管切割后须以Air Gun用洁净的气体清除，切割面应位于下流方向。

6. 切割后如管上附有切屑或其它杂质，须用无尘布料擦净。

7. 切割后应用专用的切面加工器处理切面。

8. 进行切面加工时，为防止切屑进入管内，应置加工面于下游，从上游冲放洁净的气体，加工后，使切面朝下，从上方敲打几次，以去除切屑杂质。

9. 切面加工终了后，须确认切面处理是否良好。若检查合格，应用高纯度工业用氮气清除配管外表。

10.如确认配管内外无杂质或异常现象，应于两端加盖。

11.如配管不能横于水平切割，下方管便不可使用。

5.2.3 焊接

1. 焊接工作员必须具备相关之执照。

2. 自动焊接的场合，必须每日对各焊接机进行管理。电源关掉时也应与基准样品比较，以确认品质。

3. 自动焊接的场合，应尽量在临设的洁净空间实行，原则上从钢管上游至下游进行。

4. 于现场施工时，须在简易的洁净亭或密封环境内执行，以减少外部杂质的进入。

5. 焊接作业时，必须常设灭火设备，并须先取得甲方的同意才可使用火源。

6. 所有用电电气设备须经业主认可。

7. 焊接时，管内保护气须使用高纯度氩气，焊接氩气由承包商提供。

8. 管内吹净气体即使于配管无焊点使用时，也必须以氮气不断流通。特别是夜间时，为了防止管内杂质侵入，必须保持正压。

9. 管线焊接完成后仍须以吹净气体清净管线内侧，并以氮气持压使与外界隔离。

5.2.4 管线安装

一般安装要求:地面上管线应确实按设计图面安装，管线是否水平或垂直，需使用水平尺、水平仪及铅垂测定，必要时得使用经纬仪测定，以减小误差。