特殊气体监控系统GMS

1.1气体监控系统：

完整的特殊气体系统,含本系统配套监控系统（以下简称监控系统或GMS），监控系统包括所需的计算机工作站阶层硬件、网络传输阶层设备、控制器及仪表等的深化设计、设备材料采购、施工安装、总体测试、试车及培训。监控系统需包含大宗气站的监控画面同步，监控所属的输入输出信号配接和实现 GMS 监测的全部工作。

1.2气体侦测系统：

本包设置的气体侦测系统, 用于监测各种特殊气体（可燃/爆炸性，腐蚀性，毒性）的设备或环境浓度以及存在窒息风险区域的环境氧气浓度以判断泄漏状况或环境安全状况。并在紧急状况（如泄漏浓度为 2 段警报）时实现相关系统联动。  

1.3管路形式：

 Cl2、AsH3、PH3、10%SiH4/N2、Hbr、SIH4采用双套管;

1.4材质要求：            

工艺气体管路材质：   

SiH4、10%SiH4/N2、AsH3、PH3—（外管） SS304 AP 、（内管）SS316L EP

Cl2、HBr—（外管） SS304 AP 、（内管）SS316L V+V

Ar，He，O2，CF4，CF4/O2，N2O，C2F6，PN2— SS316L EP 

GN2—SS316L BA

H2—（纯化器前） SS316L BA、 （纯化器后）SS316L EP

1.5 程序编写：

特气设备对应特侦点位安装及联动程序编写，监控信号接入现有GMS系统

1.6 管路标识：

管路标识（包含信号线、采样管），气体化学品名称、管路材质尺寸走向等，设备相关的标识与挂牌等须符合规范并与现场相同

1.7 施工现场6S管理：

1.8 RFQ的确认：

供应商在接到用户的RFQ后，即日需要跟用户进行RFQ的确认，同时到现场进行会堪的确认，以及管路图的确认。包含但不限于：

 • 规划布局设计、工艺流程设计、配管配线管路设计

• 质量保证和控制

• 所有需求设备&配件&材料的制造和购买

• 包装、运输、拆箱、move in

• 设备定位、安装

• 调试、测试、整改和验收

• 所有机台管路阀门等的标识

• 施工现场6S管理

• 竣工资料

• 保固

• 系统培训

• 系统流程图

1.9施工要求：

1)该项目所需临时设施，办公设施，以及调试、测试、验收所需公共设施、材料等，均由承揽商负责。

2)该项目所需临时或永久辅助设施、管路支撑，由承揽商负责；承揽商可以使用既有公共桥架、管路支撑；同时，承揽商应允许其它包商合理使用其永久桥架、管路支撑。

3)即使一些附属项目没有明确在规范中提及或在图中指示，而作为必需的，都包含在该正确和完整的系统中。

4)承揽商应充分、完全了解该项目范围，报价应包含所有部分，如因承揽商自身问题导致的任何遗漏部分将不予以追加。

5)该项目所附设计图纸为基础图，用以描述管路尺寸、阀门分布、管路近似位置等。所有管路阀门实际位置以空间管理图纸为准，供应商所详细设计的内容不得低于基础要求。

6)关于质量管控，在系统安装时需专业的质量管控人员稽核。业主可视需求至承揽商设备制造基地现场检验，承揽商不得以任何理由拖延或拒绝执行；

7)如果业主对承揽商的工作质量不满意，可有权安排质量控制和其他服务如培训等，甚至部分或者完全由第三方来执行。由此发生的费用将由承揽商负责。

8)业主有权在设备制造、出厂及安装期间直接或委派质量监督人员进行一次或多次质量检查，承揽商须支持由业主或代表他们的第三方的监督工作，承揽商须承担可能发生的费用。