特气供应柜GC

Gas Cabinet采用可程序化逻辑控制(PLC) 撘配Touch Monitor操作，能自动切换及手动控制及一键强制供气,并能与气体监控系统(Gas Monitoring System)兼容，藉由气体监控系统远距离关闭(Remote Shutdown)方式控制Gas Cabinet供气。

Gas Cabinet操作界面需用10”4以上 TFT Touch Monitor(并有流程、阀位显示等)。各控制参数可依层级别设定修改。

所有自燃性气瓶柜需装设UV/IR，且UV/IR需能与Gas Cabinet之气动阀做连锁interlock，以作为紧急关断之用。(VDB亦需有考虑应急措施)

Gas Cabinet采双瓶式配置，两瓶皆为制程气体钢瓶，一瓶供应，一瓶备用，Purge所需N2可考虑各气体间共用钢瓶供应（在考虑气体倒流产生的污染或反应及满足法规的前提下），各气柜内Purge入口需设置逆止阀。 (厂家需设计气瓶柜具有自动换钢之功能)。Gas Cabinet 需设计高压保压测漏（HPLT）并设置Test Port。考虑与要求同Purge N2。