气瓶架GR

Gas Rack采用可程序化逻辑控制(PLC) 撘配Touch Monitor操作，能自动切换吹扫及保压测试（自动显示错误警报及步进功能），手动控制及强制供气，并能与气体监控系统(Gas Monitoring System)兼容，藉由气体监控系统远距离关闭(Remote Shutdown)方式控制Gas Rack紧急停止供气。

Gas Rack采双瓶式配置，两瓶皆为制程气体钢瓶，一瓶供应，一瓶备用，Purge所需N2可考虑各气体间共用钢瓶供应（在考虑气体倒流产生的污染或反应及满足法规的前提下），各气架内Purge入口需设置逆止阀。

Gas Rack依据气体压力、钢瓶重量（液态）及气体性质自动切换钢瓶，其采用两段式，第一段警告，第二段自动切换，设定值依据实际情况而定。

控制盘面显示：显示讯号包含气体供应状况、气瓶重量、压力显示、all alarm及running